Nogle af hovedtrækkene i Favrskov Kommunes landskab blev sandsynligvis allerede grundlagt, inden de store istider satte ind. Således mener man, at spændinger i den stive jordskorpe for ca. 15 millioner år siden skabte dybe sprækker og langstrakte forsænkninger, som lå parallelt med nutidens dale. Nogle af sænkningerne har fungeret som transportkanaler for floder, og i Miocæn ledte de vand fra det skandinaviske højland ud til datidens Nordsø. Under istiderne gravede gletsjere og smeltevandsfloder sig ned i resterne af de gamle floddale, så de skar sig 50‑100 m ned i aflejringer fra Miocæn, Oligocæn og Eocæn. Efterfølgende aflejrede is og smeltevand tykke lag af sedimenter i dalbundene. Uanset om de oprindelig er opstået pga. bevægelser i jordskorpen eller som floddale før istiderne og siden eroderet af is og smeltevand, er alle dalene tunneldale, som fik deres nuværende form inde under isen. I dag veksler dalbundene mellem sø- og mosefyldte bassiner og højereliggende tærskler. Det ses tydeligt i bl.a. Granslev Ådal.
Syd for Hvorslev og ved Skjød gennemskæres morænelandskabet af næsten retlinjede, smalle og parallelle dale, som med stejle sider og en nord-syd-gående retning kan følges over en strækning på 3‑8 km. Disse særprægede dale er skabt af bevægelser i jordskorpen sent i istiden og kaldes spaltedale.
Inden Nordøstisen for 23.000‑20.000 år siden nåede frem til Hovedstilstandslinjen, aflejrede smeltevandsfloderne tykke lag af sand og grus foran den fremrykkende is, så der opstod en vidtstrakt slette. I Østjylland kan man genfinde dette lag af sand og grus i talrige grusgrave og boringer. Flere steder omslutter smeltevandssletten højtliggende partier af ældre istidslandskaber. Det er fx tilfældet ved Lysnet og Ølst på grænsen til Randers Kommune. Disse bakkepartier er erosionsrester af en randmoræne fra næstsidste istid, Saale. På sin vej frem til Hovedstilstandslinjen overskred Nordøstisen både sin egen flodslette og bakkepartierne. Undervejs afsatte den en sandet og gruset moræne, der nogle steder er så tynd, at de ældre, underliggende aflejringer ligger tæt på overfladen.
Da Nordøstisen stod ved Hovedstilstandslinjen vest for Silkeborg, havde smeltevandet, der strømmede ud fra isens rand, frit løb mod vest. De mange strømløb fordelte og aflejrede sand og grus ud over de lavereliggende dele af næstsidste istids landskab og skabte det for Vestjylland så typiske slette- og bakkeølandskab. I takt med Nordøstisens tilbagesmeltning fra Hovedstilstandslinjen kom morænelandet og dalene til syne foran den vigende is. Samtidig blev der åbnet nye veje for smeltevandet, som nu kunne løbe mod Limfjorden i nord. Ligesom andre floder fulgte smeltevandsstrømmene de eksisterende lavninger i det isfri landskab. På visse strækninger løb smeltevandet i de eksisterende tunneldale, hvor de aflejrede sand og grus på dalbundene og derved udviskede en del af de oprindelige tunneldalstræk. Derved opstod fx Gudenådalen med løbsretning vinkelret på mange af de store østjyske tunneldale.
I Gudenådalen kommer smeltevandsstrømmenes skiftende forløb til udtryk i sand- og grusterrassernes forskellige højder. Når smeltevandet fandt en kortere vej ud til havet, eller når spærrende isblokke smeltede, skar vandstrømmen sig ned i sine egne aflejringer og dannede en ny dalbund på et dybere niveau. Rester af de tidligere dalbunde ligger flere steder tilbage som terrasser langs dalsiderne eller som øer med en plan overflade ude i dalen. Denne type smeltevandsdale kaldes terrassedale eller »dal-i-dal«-dale. Der skelnes mellem tre stadier i udviklingen af Gudenådalen. Det første kaldes Falborg-stadiet, hvor smeltevand fra Nordøstisen fulgte Falborgdalen, som i dag udgør det fladbundede dalstrøg forbi Rødkærsbro i Viborg Kommune. Derefter fulgte Skalså-stadiet, hvor smeltevand fra Nordøstisen fandt afløb til Hjarbæk Fjord gennem Nørreådalen og Skalsådalen. Sidst var Randers Fjord-stadiet, hvor smeltevandsfloder fra Den Ungbaltiske Is bugtede sig vest- og nordpå gennem morænelandet og mundede ud i istidens Gudenådal. I Favrskov Kommune strakte Den Østjyske Israndslinje sig tværs over dalstrøget ved Søften, hvor smeltevandet strømmede ud fra isen og løb mod nordvest, hvor det dannede Lilleådalen med brede sand- og grusterrasser.
